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薄膜上常温成膜方案
来源:
时间:2021-05-10 17:03
高密封性应用案例
效果
通过OER工艺常温生成OH活性基,没有热或物理损伤
不需要真空排气,大幅度缩短成膜时间
利用专用喷头均匀喷射气体,上游和下游之间没有分布差异
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