Meiden纯臭氧发生器

应用与方案
薄膜上常温成膜方案
来源: 时间:2021-05-10 17:03

高密封性应用案例

薄膜上常温成膜方案(图1)

 

效果

通过OER工艺常温生成OH活性基,没有热或物理损伤

不需要真空排气,大幅度缩短成膜时间

利用专用喷头均匀喷射气体,上游和下游之间没有分布差异