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半导体衬底成膜方案
来源：
时间：2021-05-10 17:07
半导体衬底成膜方案
深沟槽衬底应用案例（纵横比1:15）
效果
在沟槽底部，从侧壁到底部可以基本形成同一SiO2膜厚
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