In-situ洗净方案
EUV光刻装置后工程（光刻处）的In-situ洗净应用例
效果
可以In-situ即时清洗低压和高反应性电极部（低浓度臭氧从未实现的显著特征）
在没有生成氧化物的同时去除污染（碳污染），保持光束反射率
100%浓度纯臭氧不含NOx和H₂O，不会对Mask,Mirror造成损伤
超真空环境下也能达到100%浓度纯臭氧，可以充分分解Out Gas
