高纯臭氧如何参与OH自由基生成？本方案采用了80 %wt以上高纯臭氧与水蒸气，在加热条件下生成OH自由基，并直接参与ALD氧化过程。从工艺角度来看，高纯臭氧主要...

明电社株式会社（社长：东京都品川区三井田贤代，下称明电社）正根据从2021年开始实施的新的中期经营计划，致力于向2050年实现碳中和的社会脱碳目标。将向上修订2030财年（中间阶...

效果 利用纯臭氧作为氧气源可以形成高品质的金属氧化物薄膜。 利用纯臭氧作为氧气源的优越性得到国际认知。...